【真空镀膜机清洗工艺之氮气冲洗】氮气在材料表面吸附时,由于吸附能小,因而吸留表面时间极短.即便吸附在器壁上,也很容易被抽走。利用氮气的这种性质冲洗真空系统,可以dada缩短系统的抽气时间。如真空镀膜机在放入da气之前,先用干燥氮气充入真空室冲刷一下再充入da气,则下一抽气循环的抽气时间可缩短近一半,其原因为氮分予的吸附能远比水气分子小,在真空下充入氮气后,氮分子先被真空室壁吸附了。由于吸附位是一定的,先被氮分子占满了,其吸附的水分子就很少了,因而使抽气时间缩短了。如果系统被扩散泵油喷溅污染了,还可以利用氮气冲洗法来清洗被污染的系统.一般是一边对系统进行烘烤加热,一边用氮气冲洗系统,可将油污染消除。射频离子源是一种高能离子源,可用于各种科学研究和工业应用。四川真空镀膜射频离子源制造生产厂家
【真空镀膜的分类】真空镀膜的镀层结构一般为:基材、底漆、真空膜层、面漆,因靶材理化特性直接决定膜层的特性,根据膜层的导电与否,可分为导电真空镀膜(VM)和不导电真空镀膜(NCVM)两种。VM:一般用在化妆品类、NB类、3C类、汽配类按键、装饰框、按键RING类饰品的表面处理,其表面效果与水电镀相媲美,靶材一般为铝、铜、锡、金、银等。NCVM:具有金属质感、透明,但不导电,一般用在通讯类、3C类对抗扰要较高的机壳、装饰框、按键件、RING类饰品的表面处理,其表面效果为水电镀不可取代,靶材一般为铟、铟锡。三、扩散泵连续使用6个月以上,抽的速度会显然变慢,当操作不当应拆去联结水管,卸下电炉盘,将一级喷嘴拧出,先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍,再用洗衣粉兑水清洗一遍,然后用清水彻底清洗干净,待水份挥发干以后,装好泵胆,加入新扩散泵油,并装回机体,接好水管,装好电炉盘,便可以重新开机。在重新开机前,要注意检漏工作。河南离子束清洗射频离子源厂家成都真空镀膜机的生产厂家。
【不同类型镀膜机应用范围介绍】不同类型镀膜机的适用范围介绍1.磁控溅射镀膜设备:应用于信息存储领域,如磁信息存储、磁光信息存储等2.磁控溅射镀膜机:应用于防护涂层,如飞机发动机的叶片、汽车钢板、散热片等3.磁控溅射镀Al膜生产线:应用于太阳能利用领域,如太阳能集热管、太阳能电池等4.AZO透明导电膜磁控溅射镀膜生产线:应用于信息显示领域,如液晶屏、等离子屏等5.触摸屏连续式镀膜生产线:应用于触摸屏领域,如手机、电脑、MP4等数码产品屏幕等。6.磁控中频多弧离子镀膜设备:应用于硬质涂层,如切削工具、模具和耐磨耐腐蚀零件等。7.PECVD磁控生产线:应用于集成电路制造,如薄膜电阻器、薄膜电容器、薄膜温度传感器等。8.蒸发式真空镀膜设备:应用于在装饰饰品上,如手机壳、表壳、眼镜架、五金、小饰品等镀膜。9.低辐射玻璃镀膜生产线:应用于建筑玻璃方面,如阳光控制膜、低辐射玻璃、防雾防露和自清洁玻璃等。10.抗反射导电膜连续磁控溅射生产线:应用于电子产品领域,如液晶显示器、液晶电视、MP4、车载显示、手机显示、数码相机和掌上电脑等。
直流电源电压纹波做了二次滤波处理,高压输出的纹波小于50mV,离子源束流的稳定性和重复性较好,镀膜的产品的折射率更稳定。国泰真空射频离子源采用通用的LC高频谐振原理,使用可调电容快速调谐,使整个负载阻抗匹配到50Ώ,从而使功率输出比较大,电离化效率比较高,调谐马达采用步进电机转位+编码器快速定位,并带锁止和记忆功能,以满足负载在不同的真空环境、不同国泰射频离子源采用通用的LC高频谐振原理,使用可调电容快速调谐,使整个负载阻抗匹配到50Ώ,从而使功率输出比较大,电离化效率比较高,调谐马达采用步进电机转位+编码器快速定位,并带锁止和记忆功能,以满足负载在不同的真空环境、不同阻抗快速点火。真空镀膜机日常怎么维护?
【真空镀膜设备设计原则及常用技术指标】真空设备设计原则:(1)先功能,后结构。先给出指标参数、生产要求、功能;(2)先核xin后辅助。由内向外。先决定靶尺寸、靶基距;(3)先局部,后整体。再由整体,定局部。(4)先设计,后校核。由粗到细。镀膜机常用技术指标:镀膜方法:CVD,PVD(蒸发、溅射、离子镀、复合镀);被镀工件的形状、尺寸;工件架尺寸;真空室尺寸;生产方式:连续、半连续、周期式。生产周期。生产量。生产速率。技术参数;设备极限真空度、工作本底真空度工作真空度、工作气氛;漏率、抽空时间、恢复真空时间。工作(烘烤)温度;(热处理炉、冻干机)膜厚不均匀程度;功率;高电压。真空镀膜机找成都国泰真空设备有限公司。陕西离子束溅射射频离子源厂家
真空镀膜机常见故障及解决方法。四川真空镀膜射频离子源制造生产厂家
本申请还涉及一种射频离子源离子束束径控制方法,也即采用上述束径控制装置进行离子束束径控制的方法,包括以下步骤:s1,对真空腔体5进行抽真空;s2,打开离子束发生器7,调整电压电流参数;s3,在控制器6的输入界面中输入离子束束径值;s4,点击控制器6的执行按钮,控制器6向驱动器8发出指令,驱动器8控制驱动机构动作;s5,驱动组件驱动滑环41转动并带动导柱24在导槽42中滑动,叶片2绕固定轴23转动使光阑3大小与输入的离子束束径值一致。下面给出一种采用该方法进行抛光的具体步骤:1、打开离子束抛光系统电源、水冷装置、工作氩气等;2、放置光学元件,采用合适夹具将光学元件固定;3、对真空腔体进行抽真空,保证实验的真空状态,且真空腔体压强需达到×10-3pa以上;4、打开离子源也即离子束发生器,调整好离子源的电压电流等参数;5、根据被抛光元件尺寸及检测后的面形参数情况选择离子束束径,将离子束束径参数输入控制器的计算机控制界面;6、点击控制器的执行按钮,控制器向驱动器发出指令,驱动器控制驱动机构动作;7,伺服电机驱动滑环转动并带动导柱在导槽中滑动,叶片绕固定轴转动使光阑大小与输入的离子束束径值一致;8、控制离子束垂直入射法拉第杯。四川真空镀膜射频离子源制造生产厂家